MICRO SAMPLE STAGE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

摘要

(과제) 미소 시료의 부착의 자동화가 가능한 미소 시료대를 제공한다. (해결 수단) 미소 시료대(1)는, 베이스부(10)와, 베이스부(10) 상에 설치되고, 미소 시료가 고정되는 시료 고정부(20)와, 복수의 얼라인먼트용 마크부(40)를 구비한다.