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经营范围
发明名称
INSPECTING DEVICE FOR PATTERN DEFECT AND FOREIGN MATTER
摘要
申请公布号
JPH01243186(A)
申请公布日期
1989.09.27
申请号
JP19880070239
申请日期
1988.03.24
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MIYAZAKI YOKO;TANAKA HITOSHI;KOSAKA NORIYUKI
分类号
H01L21/66;G06T1/00
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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