发明名称 INSPECTING DEVICE FOR PATTERN DEFECT AND FOREIGN MATTER
摘要
申请公布号 JPH01243186(A) 申请公布日期 1989.09.27
申请号 JP19880070239 申请日期 1988.03.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MIYAZAKI YOKO;TANAKA HITOSHI;KOSAKA NORIYUKI
分类号 H01L21/66;G06T1/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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