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发明名称 LARGE SCALE INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH01253252(A) 申请公布日期 1989.10.09
申请号 JP19880080013 申请日期 1988.03.31
申请人 TOSHIBA CORP;TOSBAC COMPUTER SYST CO LTD 发明人 OZAKI MAKOTO;TSUGANE KOICHIRO
分类号 H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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