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发明名称 LIQUID GROWTH OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01261294(A) 申请公布日期 1989.10.18
申请号 JP19880087580 申请日期 1988.04.08
申请人 MITSUBISHI CABLE IND LTD 发明人 HATTORI KUNIHIRO;SEGAWA SATORU;FUJII MOTOTADA
分类号 H01L21/208;C30B19/00 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
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