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发明名称 PRODUCTION OF HARD CARBON FILM
摘要
申请公布号 JPH01261212(A) 申请公布日期 1989.10.18
申请号 JP19880090785 申请日期 1988.04.12
申请人 IDEMITSU PETROCHEM CO LTD 发明人 ETO YUJI;ITO TOSHIMICHI;MASUDA ATSUHIKO;ISHIZUKA YASUKAZU;YASUI HARUO
分类号 C01B31/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511 主分类号 C01B31/04
代理机构 代理人
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