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发明名称 VAPOR GROWTH METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01260813(A) 申请公布日期 1989.10.18
申请号 JP19880089476 申请日期 1988.04.11
申请人 SUMITOMO CHEM CO LTD 发明人 MAEDA NAOYOSHI;HATA MASAHIKO;YOSHIURA YASUNARI;FUKUHARA NOBORU
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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