OPTICAL TYPE INSPECTION INSTRUMENT FOR PRODUCTION DEVICE,申请号JP19880092154-传众专利搜索

发明名称	OPTICAL TYPE INSPECTION INSTRUMENT FOR PRODUCTION DEVICE
摘要
申请公布号	JPH01262633(A)	申请公布日期	1989.10.19
申请号	JP19880092154	申请日期	1988.04.13
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	IKEGAMI KOJI
分类号	H01L21/60;G02B27/02;H01L21/52;H01L21/66	主分类号	H01L21/60
代理机构		代理人
主权项
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