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发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01268122(A) 申请公布日期 1989.10.25
申请号 JP19880097765 申请日期 1988.04.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KATAOKA TOYOTAKA;WATANABE YOSHIO
分类号 H01L21/30;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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