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发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE TRANSDUCER
摘要
申请公布号
JPH01274478(A)
申请公布日期
1989.11.02
申请号
JP19880104695
申请日期
1988.04.26
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
IKEGAMI MASAAKI
分类号
H01L29/84;G01L9/00;G01L9/04
主分类号
H01L29/84
代理机构
代理人
主权项
地址
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