发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR PRESSURE TRANSDUCER
摘要
申请公布号 JPH01274478(A) 申请公布日期 1989.11.02
申请号 JP19880104695 申请日期 1988.04.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IKEGAMI MASAAKI
分类号 H01L29/84;G01L9/00;G01L9/04 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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