发明名称 MANUFACTURE OF MIS TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01283872(A) 申请公布日期 1989.11.15
申请号 JP19880113023 申请日期 1988.05.10
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 FUJISAWA AKIRA
分类号 H01L29/78;H01L21/316 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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