PLASMA VAPOR GROWTH METHOD AND ITS DEVICE,申请号JP19880113890-传众专利搜索

发明名称	PLASMA VAPOR GROWTH METHOD AND ITS DEVICE
摘要
申请公布号	JPH01283815(A)	申请公布日期	1989.11.15
申请号	JP19880113890	申请日期	1988.05.10
申请人	SUMITOMO METAL IND LTD	发明人	SAKAMOTO JUNICHI;NAKAYAMA SATORU
分类号	H01L21/205;H01L21/31	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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