| 发明名称 |
PLASMA TREATMENT AND APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01315140(A) |
申请公布日期 |
1989.12.20 |
| 申请号 |
JP19880145726 |
申请日期 |
1988.06.15 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FUKUDA TAKUYA;OGAMI MICHIO;MONMA NAOHIRO;SONOBE TADASHI |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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