| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR OPERATING PROBE HEAD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0269613(A) |
申请公布日期 |
1990.03.08 |
| 申请号 |
JP19890186192 |
申请日期 |
1989.07.20 |
| 申请人 |
CARL ZEISS:FA |
发明人 |
ETSUKUHARUTO ENDERURE;HANSUUPEETAA EENERUTO;KAARUUOIGEN AUBERE;MIHIYAERU BUIRUTO |
| 分类号 |
G01B21/20;G01B11/00;G01B21/00 |
主分类号 |
G01B21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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