发明名称 ASHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0272622(A) 申请公布日期 1990.03.12
申请号 JP19880224123 申请日期 1988.09.07
申请人 TERU KYUSHU KK 发明人 KAMIKAWA YUJI;NOMURA MASAFUMI;YOSHIOKA KAZUTOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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