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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH02129928(A) 申请公布日期 1990.05.18
申请号 JP19880284404 申请日期 1988.11.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ARIMA HIDEAKI;AJIKA NATSUO
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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