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发明名称 DRY ETCHING METHOD AND DRY ETCHING PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPH02135731(A) 申请公布日期 1990.05.24
申请号 JP19880289851 申请日期 1988.11.16
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ABE KENJI
分类号 C23F1/08;C23F1/12;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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