| 摘要 |
Für ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Strahlcharakterisierung, bei denen ein zu charakterisierender Strahl einer Strahlvorrichtung in einem Strahlprüfquerschnitt mittels eines Referenzelements mit einer Vielzahl von Rasterpunkten abgerastert und für jeden Rasterpunkt mittels eines Messelements ein Wert einer von der Intensität eines nach Wechselwirkung mit dem oder nach Durchtritt durch das Referenzelement auf das Messelement auftreffenden Strahlanteils abhängigen Charakterisierungsmessgröße ermittelt wird, wird vorgeschlagen, die Qualität des Referenzelements zu bestimmen, indem aus den Charakterisierungsmessgrößenwerten ein Kontrollmessgrößenwert ermittelt und mit einem Kontrollreferenzgrößenwert verglichen wird, wobei der Kontrollreferenzgrößenwert aus der bekannten Leistung der Strahlquelle, einem im Strahlprüfquerschnitt gegebenen Strahlradius sowie einer vorgegebenen Intensitätsverteilung des zu charakterisierenden Strahls im Strahlprüfquerschnitt ermittelt wird. |
