发明名称 |
METHOD OF JOINING SILICON WITH GLASS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH02148713(A) |
申请公布日期 |
1990.06.07 |
申请号 |
JP19880302105 |
申请日期 |
1988.11.29 |
申请人 |
TOYODA MACH WORKS LTD |
发明人 |
ISHIKAWA MINEO;SAKURAI TOMIKI;ARASHIMA HIROAKI |
分类号 |
C03C27/00;H01L21/02;H01L21/52;H01L27/12;H01L29/84 |
主分类号 |
C03C27/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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