发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02156540(A) 申请公布日期 1990.06.15
申请号 JP19880311149 申请日期 1988.12.08
申请人 NEC CORP 发明人 FUJIE KOJI
分类号 H01L21/322 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
地址