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发明名称 MANUFACTURING EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02156527(A) 申请公布日期 1990.06.15
申请号 JP19880311148 申请日期 1988.12.08
申请人 NEC CORP 发明人 SHIOBARA TOSHITAKA
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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