发明名称 PRODUCTION OF THIN SUPERCONDUCTOR FILM
摘要
申请公布号 JPH02156075(A) 申请公布日期 1990.06.15
申请号 JP19880311746 申请日期 1988.12.09
申请人 MITSUBISHI METAL CORP 发明人 KONDO HIDEYUKI;HAGINO SADAAKI;TAKESHITA TAKUO;SUGIHARA TADASHI
分类号 C04B41/87;C01B13/14;C01G1/00;C01G29/00;C23C14/08 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
主权项
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