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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02170577(A) 申请公布日期 1990.07.02
申请号 JP19880326571 申请日期 1988.12.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MORII TOMOYUKI
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L29/04;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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