发明名称 FORMING METHOD OF SINGLE CRYSTAL MAGNESIA SPINEL FILM
摘要
申请公布号 JPH02192755(A) 申请公布日期 1990.07.30
申请号 JP19890012834 申请日期 1989.01.20
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 TAGUCHI EIJI;INOUE YASUNORI
分类号 H01L21/205;H01L21/86 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址