发明名称 METHOD AND DEVICE FOR SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPH02197555(A) 申请公布日期 1990.08.06
申请号 JP19890015436 申请日期 1989.01.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TANAKA KUNIO;ONISHI YOICHI;YOKOYAMA MASAHIDE
分类号 C23C14/08;C23C14/34 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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