发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH02226731(A) 申请公布日期 1990.09.10
申请号 JP19890047736 申请日期 1989.02.28
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 OSABE AKIO;HAMAYA TOSHIJI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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