| 摘要 |
一种改良之电子粒子计数器，其中电极及至少一部分之讯号处理电路系与设有锐孔之方框一体成型。该方框系由一般用于制造矽一蓝宝石积体电路同一等级之蓝宝石晶片所形成。首先，在晶片的一边上磊晶形成一矽层及随后在矽层上利用传统之光罩制板技术形成积体电路。该积体电路提供相同于传统粒子计数器分开封装之粒子计数及粒子大小之功用。藉着转换一些磊晶矽为导电性多矽，或者藉着沉积一金属层，而将一电极设于晶片上积体电路之同侧；该电极系连接至积体电路之讯号输入极。随后，藉沉积一金属层而在晶片之相反面形成一第二电极。藉蚀刻或钻孔而在蓝宝石之每一方框上形成一锐孔。最后，晶片被切成小方块以便分隔成每一个别之方框。 |
