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发明名称
SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号
JPH02244596(A)
申请公布日期
1990.09.28
申请号
JP19890066664
申请日期
1989.03.17
申请人
HITACHI MAXELL LTD
发明人
UENAE KEIICHIRO
分类号
H05B33/10;H05B33/12;H05B33/14
主分类号
H05B33/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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