| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR NORMAL-PRESSURE CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02258979(A) |
申请公布日期 |
1990.10.19 |
| 申请号 |
JP19890040905 |
申请日期 |
1989.02.21 |
| 申请人 |
ANELVA CORP |
发明人 |
WATABE YOSHI;TAKAGI HIDEO |
| 分类号 |
C23C16/02;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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