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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02268450(A) 申请公布日期 1990.11.02
申请号 JP19890089942 申请日期 1989.04.10
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD 发明人 NEMOTO KIYOKO;MIZUSAKI YUKIO;OKADA SUMIO;YAMADA TOMIO;YAMAMOTO HIDEOMI;ISHII SHIGERU;NAKAMURA SOICHIRO
分类号 H01L21/56;H01L21/60;H01L23/02 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
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