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发明名称 SELECTIVE OXIDATION FOR ISOLATION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH02268435(A) 申请公布日期 1990.11.02
申请号 JP19890090442 申请日期 1989.04.10
申请人 ROHM CO LTD 发明人 KAIGAWA HIROYUKI
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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