EVAPORATION SOURCE FOR ORGANIC MATERIAL AND VAPOR DEPOSITING APPARATUS INCLUDING THE SAME

摘要

본 발명은 대면적 기판에 유기물을 증착할 수 있는 유기물 증발원 및 그를 포함하는 증착 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유기물 증발원은 몸체 및 상기 몸체의 일측에 형성된 개구와 연결된 노즐을 포함하는 도가니, 상기 도가니에 인접하게 배치되는 히터 및 상기 도가니 및 상기 히터를 수용하는 하우징을 포함하고, 상기 도가니는 스테인리스 스틸(steel use stainless, SUS)이 코팅된 금속으로 형성된다.