发明名称
摘要
申请公布号 JPH02140967(U) 申请公布日期 1990.11.26
申请号 JP19890048072U 申请日期 1989.04.24
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;G11B7/26;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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