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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE, MANUFACTURE THEREOF AND MOLDING TOOL
摘要
申请公布号 JPH02288258(A) 申请公布日期 1990.11.28
申请号 JP19890108885 申请日期 1989.04.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 MASUDA MASACHIKA
分类号 H01L21/56;H01L23/50;H05K3/30 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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