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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02291164(A) 申请公布日期 1990.11.30
申请号 JP19890111484 申请日期 1989.04.28
申请人 NEC CORP;NEC ENG LTD 发明人 WATABE HAJIME;YAMASHITA NOBUHIRO
分类号 G01R31/26;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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