磁控管式溅射装置及方法

摘要

本发明揭示一种线上型（in-line）与旋转型溅射装置，其溅射沈积如耐火（高融点）金属之材质，并形成此材质之氧化物及其他化合物与合金。其相关制程之特征为：形成广泛种类材质之能力，高产能，与可控制之覆膜厚度，包括固定与选择性地变化厚度外形两者。