| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING A THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR900009101(B1) |
申请公布日期 |
1990.12.22 |
| 申请号 |
KR19850002947 |
申请日期 |
1985.05.01 |
| 申请人 |
DIESEL MACHINE CO.,LTD. |
发明人 |
KASAYA MASASI;ABE TATSUHIKO |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/00;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32;C23C16/44;C23C16/50;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
