| 主权项 |
1﹒一种搬运容纳于晶片卡匣内之半导体晶片用之机器人,此种机器1﹒一种搬运容纳于晶片卡匣内之半导体晶片用之机器人,此种机器人系在清洁室内使用,在该清洁室内,空气层流从空气供给装置朝向下方移动,该机器人包括;实质上水平的设置在清洁室之空气供给设备下之导轨;从导轨下垂直并且可滑动的连结于导轨以便沿导轨移动之机器人本体;驱动机器人本体使其沿导轨移动之第1驱动设备;将导轨之全长覆盖之筒状盖;及设在筒状盖内用来吸引空气以便防止产生于筒状盖内之灰尘扩散至筒状盖外部之吸引设备;上述机器人本体包括:可释放地挟取晶片卡匣用之挟取设备延伸于导轨与挟取设备之间以便控制挟取设备之位置用之臂部总成;及介设于臂部总成与挟取设备之间以便调整取设备之方位用之腕部总成;该腕部总成包括:(a)经由水平枢轴连结于臂部总成以便上下移动之腕部框体,此腕部框体可转动自如的支持挟取设备以便使挟取设备绕一垂直于该水平枢轴之轴线转动;(b)使腕部框体相对于臂部总成而枢活旋转之第2驱动设备;及(c)使挟取设备相对于腕部框体而转动之第3驱动设备;上述筒状盖具有沿该筒状盖延伸之细长之开口,该细长开口允许机器人本体穿过此细长开口到筒状盖外,上述吸气设备具有连通于筒状盖内部之空气吸入槽,该空气吸入槽具有吸引开口部,该吸引开口部在筒状盖之细长开口之下缘位置朝上方开口,以便使流向吸引开口部之空气流形成覆盖于筒状盖之细长开口部之空气帘,藉此防止产生于筒状盖内之灰尘通过细长开口部飞散至外部。2﹒如申请专利范围第1项之搬运机器人,其中,该挟取设备包括:具有对向侧壁部之中空箱状手部框体,该手部框体经由轴可转动的连结于腕部框体,使对向侧壁部平行于该轴;设在手部框体中之一对滑动杆,该滑动杆垂直于手部框体之对向侧壁,该等滑动杆之各外端通过对向侧壁延伸至手部框体外,因而分别由对向侧壁可移动的保持而沿其长轴方向移动;第4驱动设备,设在手部框体内,以便使滑动杆互相接触;及一对平行间隔之手指,该等手指可释放地挟住晶片卡匣,该等手指分别成垂直的连结于滑动杆之外端而由第4驱动设备驱动可相互靠拢与分开的移动。3﹒如申请专利范围第1项之搬运机器人,其中,挟取设备又包括,设在手部框体内并且从对向侧壁之间延伸之导引构件,该导引构件连结于滑动杆而导引该滑动杆使其轴向的移动;导螺杆,设在手部框体内而且平行于导引构件,并且由该手部框体可旋转自如的支持而在其轴线周围旋转,该导螺杆连动于第4驱动设备,而且其第1及第2端部分别设有螺纹,第1端部之螺纹方向与第2端部之螺纹方向相反;及一对球形螺帽,分别螺合于导螺管之第1与第2端部而分别固定在滑动杆上。4﹒如申请专利范围第1项之搬运机器人;其中,上述挟取设备包括:手部框体,可旋转的连结于腕部框体一对平行间隔之手指,将晶片卡匣可释放的挟取于其间,该手指可移动的连结于手部框体以便互相接离的移动,第4驱动设备,用来驱动手指,上述各手指包括:槽形手指框体,具有关闭之相对两端部,其中之一端部连结于手部框体而其开口朝向对方手指开放;细长片状接触构件,用来直接接触于晶片卡匣,该接触构件连结于手指框体而不直接接触于手指框体,但实质上将手指框体之开口封闭以防止产生于开口之灰尘飞散至开口外;及缓冲设备,收纳的手指框体之开口内而将手指框体连接于接触构件,以便缓冲机器人本体沿导轨移动时产生之振动,藉此防止当手指挟取晶片卡匣时卡匣内之半导体晶片发生振动。5﹒如申请专利范围第4项之搬运机器人,其中,上述手指框体包括一底壁及一对侧壁;接触构件之宽度大于手指框体之一对侧壁间之距离;缓冲器设备包括弹性构件,该弹性构件之横向外部尺寸小于接触构件与手指框体之底壁间之距离尺寸;其挟取设备又包括将弹性构件连结于接触构件之连结托架。6﹒如申请专利范围第1项之搬运机器人,其中,上述晶片卡匣系具有开放顶部、封闭底部及对向两侧面之箱状体,其两侧面具有分别从其上部边缘朝侧向突出之一对凸缘部,该侧面分别具有与侧面之上部边缘成直角延伸之一对沟槽,上述挟取设备包括:可旋转的连结于腕部框体之手部框体;将晶片卡匣可释放的挟取之一对平行间隔之手指,该手指可移动的连结于手部框体以便互相接离的移动,当手指挟取晶片卡匣时,各手指分别系止于晶片卡匣之凸缘部;一对系止凸部,从各手指对向的突出而在手指挟取晶片卡匣时,系止于界定上述沟槽之晶片卡匣侧面之部份;及第4驱动设备,用来驱动手指。图示简单说明图1为清洁室之示意断面图,图2为图1中之机器人本体之侧视图;图3为图2中之机器人本体之残断平面图;图4为图2中之垂直臂部之垂直断面图;图5为图2中之水平臂部之垂直断面图;图6为图2中之机器人本体之远侧端部之平面图,部分为断面图,远侧端部包括托架、腕部与挟取手;面图;图8为沿图6之线Ⅷ一Ⅷ所作之断面图;图9为图6中之手指之放大平面图;图10为沿图9之线X一X所作之断面图;图11为沿图6中之接触片之放大透视图;图12为容纳有多数个半导体晶片之晶片卡匣之透视图;图13为图6中之挟取手之平面图,图14为清洁室之示意断面图,图15为清洁室之示意断面图,图16为图15之搬送机器人之近侧端部之放大断面图 |
