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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0330259(U)
申请公布日期
1991.03.25
申请号
JP19890087904U
申请日期
1989.07.26
申请人
发明人
分类号
C23C16/44;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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