发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03116733(A) |
申请公布日期 |
1991.05.17 |
申请号 |
JP19890253581 |
申请日期 |
1989.09.28 |
申请人 |
CATALYSTS & CHEM IND CO LTD |
发明人 |
KOMATSU MICHIO;NAKAJIMA AKIRA |
分类号 |
H01L21/768;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/316 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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