发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03123053(A) 申请公布日期 1991.05.24
申请号 JP19890261841 申请日期 1989.10.05
申请人 SONY CORP 发明人 KOMATSU YUJI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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