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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03148130(A) 申请公布日期 1991.06.24
申请号 JP19890286502 申请日期 1989.11.02
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KATAMI KAZUHIKO
分类号 H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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