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经营范围
发明名称
CLUSTER ION BEAM VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03162567(A)
申请公布日期
1991.07.12
申请号
JP19890302200
申请日期
1989.11.22
申请人
CANON INC
发明人
KAWASAKI TAKEHIKO;KANEKO NORIO;SHINJO KATSUHIKO
分类号
B01D1/00;C23C14/32
主分类号
B01D1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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