发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH03166758(A) 申请公布日期 1991.07.18
申请号 JP19890306879 申请日期 1989.11.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TODA SHUJI;HAMAMOTO RYUJI
分类号 H01L21/822;H01L21/8249;H01L27/04;H01L27/06 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
地址