| 摘要 |
높은 전하 이동도를 가지며 대면적 표시 장치에 대하여 균일한 전기적 특성을 얻을 수 있는 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법이 제공된다. 박막 트랜지스터 기판은, 절연 기판 상에 형성되고 채널부를 가지는 산화물 반도체층과, 산화물 반도체층과 중첩되게 형성된 게이트 전극과, 산화물 반도체층과 게이트 전극 사이에 개재된 게이트 절연막과, 산화물 반도체층 및 게이트 전극 상부에 형성된 보호막을 포함한다. 여기서, 게이트 절연막 및 보호막 중 적어도 하나는 산질화막으로 이루어지고, 산질화막은 산화물 반도체층과 인접할수록 산소의 농도가 질소의 농도보다 높을 수 있다. |
