发明名称 HOLDING STRUCTURE OF CONTACT MAKER FOR TEST HANDLER USE
摘要
申请公布号 JPH03183146(A) 申请公布日期 1991.08.09
申请号 JP19890321891 申请日期 1989.12.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YASHIRO MASAKAZU;SAKAI KIYOBUMI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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