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发明名称 MANUFACTURE OF SILICON THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH03187215(A) 申请公布日期 1991.08.15
申请号 JP19890326740 申请日期 1989.12.15
申请人 SHARP CORP 发明人 UEDA TORU
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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