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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03194927(A) 申请公布日期 1991.08.26
申请号 JP19890333931 申请日期 1989.12.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MIHASHI JUNICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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