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发明名称 METHOD OF PREPARING A COMPOUND FOR POLISHING SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
摘要
申请公布号 SU1677049(A1) 申请公布日期 1991.09.15
申请号 SU19874255903 申请日期 1987.03.24
申请人 GNI PI REDKOMETALLICHESKOJ PROMY "GIREDMET";INST NEFTECHIMICHESKOGO SINTE 发明人 FEDOROVA DOLORES L,SU;TOPCHIEV DMITRIJ A,SU;KABANOV VIKTOR A,SU;VLASOV VALERIJ S,SU;BYSTROVA OLGA N,SU;SELIN VIKTOR V,SU;KHOKHLOV ANATOLIJ I,SU;ANDREEV VALERIJ N,SU
分类号 C09G1/02 主分类号 C09G1/02
代理机构 代理人
主权项
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