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发明名称 MEASURING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 CA2039257(A1) 申请公布日期 1991.09.28
申请号 CA19912039257 申请日期 1991.03.27
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 NOSE, NORIYUKI;SAITOH, KENJI;SENTOKU, KOICHI;YOSHII, MINORU
分类号 G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G08C21/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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