发明名称 SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH03230464(A) 申请公布日期 1991.10.14
申请号 JP19900024336 申请日期 1990.02.02
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 YONEZAWA AKIRA
分类号 H01J37/141 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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